TY - BOOK AU - Emmanull, Defay TI - Matériaux piézoélectriques intégrés sur silicium SN - 9782746229914 PY - 2010/// CY - Paris PB - Lavoisier KW - Dielectrique, piezoelectrique, l'etude thermodynamique, modelisation thermodynamique UR - http://41.111.198.133/Z/ETT.004.4.05.pdf ER -